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TEM透射電鏡樣品桿等離子清洗機

簡要描述：廣州金程科學儀器公司供應的TEM透射電鏡樣品桿等離子清洗機CIF-TEM采用遠程離子清洗源設計，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于 TEM 透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

產品目錄

PRODUCT CENTER

詳細介紹

品牌	CIF	產地類別	國產
應用領域	能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合

廣州金程科學儀器公司供應的TEM透射電鏡樣品桿等離子清洗機CIF-TEM采用遠程離子清洗源設計，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于 TEM 透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

儀器特點：

遠程離子清洗源

一機多用

清洗快速高效，低轟擊損傷

透射電鏡樣品桿清洗機CIF-TEM.png

技術參數：

產品型號	CIF-TEM
等離子電源	13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調
等離子電源	遠程等離子源，自動匹配器
清洗室	清洗室尺寸0180xH100mm
清洗數量	可同時清洗3支TEM樣品桿
適配品牌	美國THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL)
氣體控制	標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm/分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制	皮拉尼真空計，測量范圍1.0E-5Pa~1E+5Pa
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
真空泵	前級泵
	抽氣速率2.5 m3/h
	分子泵
	極限真空：LF<810?Pa,CF<810'Pa
	分子泵抽速85L/s(N?)
	入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/CF
質量保證	二年質保，終身維護
電源	AC220V、50/60Hz,300W
產品尺寸	L565xW505xH560mm
包裝尺寸	L715xW655xH820mm
整機重量	68kc